소형 계량 센서의 개발은 MEMS(Micro-Electro{1}}Mechanical Systems) 기술의 발전과 밀접한 관련이 있습니다. MEMS 기술을 사용하면 센서의 크기를 몇 밀리미터로 소형화하고 무게는 몇 그램에 불과하여 스마트 웨어러블 기기(예: 스마트워치의 체중 모니터링 기능) 및 가전제품(예: 스마트폰의 압력-감지 버튼)에 통합할 수 있으므로 계량 센서의 적용 범위가 확장됩니다.
핵심 기술 혁신은 반도체 압저항 감지 요소의 나노규모 최적화에 있습니다. 이온주입과 박막증착 공정을 통해-0.01%의 고정밀도 검출이 가능합니다.- 복합 포장 기술은 실리콘-금속 이중-층 구조를 사용하여 습기 및 먼지로부터 보호하는 동시에 온도 드리프트를 ±0.005%/도 이내로 제어합니다. 유연한 기판 센서와 전자기 유도 솔루션을 포함한 혁신적인 디자인이 계속 등장하고 있습니다.
위성 태양광 패널 구동 시스템에서 소형 계량 센서는 진공 환경에서 0.01%FS 미만의 제로 드리프트로 0.1N·m 수준에서 정밀한 측정을 달성하여 부드럽고 정밀한 태양광 패널 배치를 보장합니다. 의료 기기 분야에서는 소형 센서가 수술 로봇의 관절 힘 피드백 시스템에 성공적으로 적용되어 작동 정확도가 미크론 미만 수준으로 향상되었습니다.