소형 로드셀은 MEMS(Microelectromechanical Systems) 기술을 기반으로 개발된 정밀 힘{0}}측정 장치입니다. 미세 전자 기계 장치 범주에 속하는 핵심 기술 혁신은 반도체 압저항 감지 요소의 나노 규모 최적화에 있습니다.
소형 로드셀은 주로 소형 다이어프램의 기계적 변형을 통해 전기 신호를 생성하여 측정을 수행합니다. 핵심 구성 요소는 MEMS 스트레인 게이지를 사용합니다. 이러한 센서는 크기가 몇 밀리미터로 소형화되고 무게는 몇 그램에 불과합니다. 복합 포장 기술은 실리콘-금속 이중-층 구조를 사용하여 습기 및 먼지로부터 보호하는 동시에 온도 드리프트를 ±0.005%/도 이내로 제어합니다.
소형 로드셀에는 소형 압력 센서와 소형 가속도계라는 두 가지 주요 유형이 포함됩니다. 스마트 웨어러블 장치(예: 스마트시계의 중량 모니터링 기능), 가전제품(예: 스마트폰의 압력-감지 버튼), 산업 생산 라인 계량, 포장 측정, 재료 비율 조정 및 의료 장비(예: 수술용 로봇의 공동 힘 피드백 시스템)에 통합되어 로드 셀의 응용 범위를 확장할 수 있습니다.